クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100の環境で作業を行う際、最も避けたいのが、加熱要素から粒子やガスが放出されてしまうことです。それは大変な問題です。一般的な赤外線ランプでは、このような要求に応えることはできません。だからこそ、私たちは高純度の石英を使用し、金コーティ...

300mmリソグラフィーでは、フォトレジストの焼成時に0.5℃のずれが生じても、大きな警告が表示されることはありません。代わりに、計測結果として線幅の変動が現れ、最終的には不良ウェーハが発生します。熱管理の範囲はすでに限られているため、ヒーターは単なる熱源として機能するだけでなく、計測ツールとして...