양자 컴퓨팅 칩 제조용 히터
양자 칩 제조 과정에서는 열적 균일성이 나빠지는 순간부터 양자 칩의 성능이 급격히 떨어집니다. 포토레지스트 처리 중 웨이퍼 전체에 0.5°C의 온도 변동만 있어도 초전도 회로의 패턴이 왜곡되고, 선의 굵기가 기준치를 벗어나게 되며, 몇 주에 걸쳐 이루어진 에피택셜 처...
산업용 반도체 제조용 히터 교체
라인상에서 0.5°C의 소프트 베이크 편차는 ‘작은 오차’가 아니다. 이는 전량 폐기 대상이다. 포토레지스트 공정에서 열적 불안정성은 어떤 여지도 허용되지 않는다. 팹 히터를 교체할 때는 측정 가능한 제어가 필요하며, 마케팅용 구성이 아니다.
실제로 중요한 점은 다음...