유기 반도체 건조 램프

라인 위에서 웨이퍼는 베이크를 기다리고 있으며, 당신의 스케줄도 마찬가지다—둘 다 안정적인 상태를 기대한다. 온도 편차 하나, 레지스트 위의 국소적 고온 지점 하나가 생기면 중요한 라인폭이 흔들리기 시작한다. 유기 반도체 작업에서는 열 예산이 매우 제한적이며, 허용...