열분석기 가열 램프

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 1°C만큼의 온도 변동이 발생해도 이는 단순한 이론상의 문제가 아닙니다. 이러한 온도 변동은 회로선의 폭 변화, 불순물 생성, 그리고 제품의 품질 저하로 이어집니다. 이미 열 관리가 매우 까다로운 상황이기...