양자 컴퓨팅 칩 제조용 히터

양자 칩 제조 과정에서는 열적 균일성이 나빠지는 순간부터 양자 칩의 성능이 급격히 떨어집니다. 포토레지스트 처리 중 웨이퍼 전체에 0.5°C의 온도 변동만 있어도 초전도 회로의 패턴이 왜곡되고, 선의 굵기가 기준치를 벗어나게 되며, 몇 주에 걸쳐 이루어진 에피택셜 처...