TEL (Tokyo Electron) 히터 램프

리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 동안 1°C만큼의 온도 변화가 있어도 양질의 제품이 폐기물로 전락할 수 있습니다. 따라서 매번 정확한 위치에 적절한 열이 가해져야 합니다. 실제로 중요한 것은 무엇인가? TEL 히터 램프는 목표 영역 전체에 걸쳐 마이크로...