도매 웨이퍼 건조 램프

스핀-린스 드라이어에서 웨이퍼가 나오면 표면에 미세한 수분이 남아 있고, 표면 장력은 이미 그 미시적 형상들을 잡아당기고 있다. 이후 열처리 공정에서 단 1가닥의 오차라도 발생하면 포토레지스트 프로파일이 흐트러지고, 에지 비드가 남으며, 다음 리소그래피 오버레이 타겟...