量子コンピューティングチップの製造用ヒーター

製造現場では、量子チップの生産性は単に低下するだけでなく、温度が均一でなくなるとすぐに生産性がなくなってしまいます。フォトレジスト処理中にウェーハ全体で0.5℃の温度差が生じるだけで、超伝導回路の配置がずれたり、線幅が規格から外れたりし、何週間もかけて行ったエピタキシャル加工が台無しになってしまい...