先进晶圆厂的分区加热

在晶圆厂车间，烘烤温度仅偏移半度就足以报废整批产品。你会观察到光刻胶轮廓变化，在计量环节出现关键尺寸偏差，产量损失直接反映在你的班次报告中。 传统烤箱和单区热板迫使你在热预算和产能之间做出权衡。我们采用分区加热，避免了这种妥协。 技术关键点 每个加热区都采用独立控制的短波近红外（NIR）响应卤素灯...