UHP 超高纯度 加热灯
别再等待了:为什么UHP红外灯如此高效
如果你仍然依赖热空气循环来加热晶圆,那其实就是在浪费时间。你先让空气变热,然后再等待空气把晶圆加热起来。这种对流方式效率极低。在半导体加工领域,这种延迟不仅令人烦恼,还会造成巨大的经济损失。
UHP(超纯度)红外灯则完全不同。它不依赖空气作为介质,而是直接用...
高纯度石英加热元件
简介 我们直入主题吧。如果您负责运营晶圆工厂,那么您一定知道,热稳定性并非“可有可无”的性能指标,而是决定生产质量的关键因素。当工艺要求温度精度达到0.1℃时,就需要一种能够始终稳定工作、不会出现偏差的加热器。我们的石英卤素灯正是为满足这一需求而设计的。它们结构简单、经过实际应用验证,其唯一功能就...