有机半导体干燥灯

在线路上，晶圆正等待烘烤，就像你的日程安排一样——你们都依赖条件保持稳定。一次温度偏差，光刻胶上的一个热点，就会导致关键线宽开始偏移。在有机半导体工艺中，热预算非常紧张，误差余地比你正在图案化的薄膜还要薄。干燥灯不仅仅要热，还必须精准、干净且可重复。 我们为实际的晶圆厂环境设计了这款有机半导体干燥...