
在晶圆固化过程中,如何控制好热量至关重要。在半导体制造厂中,需要用高温来处理晶圆,而且这一过程必须尽快完成。不过,不能单纯地提高温度,因为如果让晶圆周围的部件过热,就会引发问题。
为了解决这个问题,我们会使用经过认证的红外固化灯,并搭配镀金反射器。这样做的目的就是避免能量浪费。
为什么选择黄金? 大多数人最初会使用铝制反射器,但它们并不合适。因为铝会吸收太多能量,还会将光线散射到各处。而黄金则不同,它能够很好地反射近红外光。通过使用黄金薄膜,我们可以让光子不会照射到机器框架上,而是直接照射在晶圆上。这样一来,热量分布更加集中,升温速度也更快。这种方式既高效又环保。
注意热量密度 不过,使用黄金时也有一个缺点:当所有能量都被集中在一起时,表面的热量密度会急剧上升,温度也会变得非常高。这种情况下,就必须小心处理冷却问题。如果气流或散热装置无法胜任这个任务,那么晶圆就可能会变形,或者灯泡也会被烧坏。因此,我们需要花费大量时间来调整功率和反射器的形状,以达到理想的W/cm²数值。
关于这些设备的注意事项 这些设备是为洁净室设计的,所以其设计非常简洁。它们可以轻松地安装在空间有限的工厂环境中。需要注意的是,黄金很容易受到灰尘的影响。一旦有灰尘附着在反射器上,效率就会下降。此时,就需要增加功率才能达到同样的效果,但这会加速灯泡的损坏。因此,必须保持反射器表面干净无尘。
另外,关于接线方面,要确保电源能够承受初始的电流冲击。采用镀金反射器的好处在于,即使减少总功率输入,仍然可以将晶圆保持在所需的精确温度上。