Kiểm soát nhiệt độ trong quá trình xử lý wafer
Đây chính là thách thức lớn nhất trong các nhà máy sản xuất bán dẫn: bạn cần phải tạo ra nhiệt lượng lớn để xử lý wafer, và điều này cần được thực hiện một cách nhanh chóng. Nhưng bạn không thể chỉ tăng cường độ nhiệt lên mà mong muốn mọi thứ diễn ra tốt đẹp. Bởi vì nếu làm cho vùng xung quanh wafer bị quá nóng, bạn sẽ gặp vấn đề.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách kết hợp các bóng đèn chiếu sáng loại IR với các bộ phản xạ được phủ bằng vàng. Mục tiêu là tránh lãng phí năng lượng.
Tại sao lại chọn vàng?
Hầu hết mọi người đều bắt đầu bằng việc sử dụng các bộ phản xạ bằng nhôm, nhưng chúng không hiệu quả lắm. Chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng và làm cho ánh sáng lan tỏa khắp nơi. Vàng thì khác. Nó có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại rất tốt.
Bằng cách sử dụng lớp màng mỏng bằng vàng, chúng ta có thể khiến các photon “không chạm vào thân máy mà quay trở lại wafer”. Điều này giúp kiểm soát nhiệt độ tốt hơn và rút ngắn thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn. Đây là giải pháp hiệu quả và sạch sẽ.
Lưu ý về mật độ nhiệt
Tuy nhiên, có một vấn đề cần lưu ý: khi sử dụng vàng để tập trung năng lượng, mật độ nhiệt ở bề mặt sẽ tăng lên rất cao. Điều này khiến wafer bị quá nóng.
Đây chính là lúc bạn cần phải chú ý đến hệ thống làm mát. Nếu hệ thống thông gió hoặc các bộ tản nhiệt không hoạt động tốt, wafer sẽ bị biến dạng hoặc bóng đèn sẽ bị hỏng. Chúng tôi thường dành khá nhiều thời gian để điều chỉnh công suất và hình dạng của bộ phản xạ sao cho đạt được mức nhiệt độ mong muốn.
Lưu ý khi sử dụng các bóng đèn này
Những bóng đèn này được thiết kế dành cho môi trường sạch, vì vậy chúng tôi giữ thiết kế của chúng đơn giản. Chúng có thể được lắp đặt trong không gian hạn chế mà không gây cản trở.
Một điều cần nhớ: vàng rất nhạy cảm với bụi bẩn. Nếu có bụi bám trên các bộ phản xạ, hiệu suất của chúng sẽ giảm xuống. Lúc đó, bạn sẽ phải tăng công suất đèn lên để đạt được kết quả tương tự, điều này sẽ làm hỏng bóng đèn nhanh hơn. Hãy giữ chúng luôn sạch sẽ.
Và một mẹo nhỏ về việc kết nối dây điện: hãy đảm bảo rằng nguồn điện có thể chịu được dòng điện ban đầu khi bật đèn. Ưu điểm của hệ thống được phủ vàng là bạn có thể giảm công suất đầu vào mà vẫn giữ được nhiệt độ mong muốn cho wafer.