Ngăn chặn sự nhiễm bẩn của wafer: Cách xử lý các bóng đèn hồng ngoại trong khu vực rửa wafer
Thành thật mà nói, giai đoạn rửa và sấy khô wafer là giai đoạn đầy rủi ro. Những bóng đèn hồng ngoại có công suất cao được đặt ngay gần các vòi nước và hóa chất. Điều này thật sự là một nguy cơ lớn.
Nếu một bóng đèn bị hỏng trong môi trường như vậy, bạn không chỉ phải đối mặt với việc bóng đèn bị hỏng mà còn phải đối mặt với những mảnh vụn từ bóng đèn rơi xuống wafer. Điều này sẽ khiến sản lượng wafer giảm sút ngay lập tức.
Vấn đề liên quan đến va chạm nhiệt
Các ống thủy tinh thông thường không thể chịu đựng được nhiệt độ cao hay lạnh. Khi một giọt nước lạnh chạm vào ống thủy tinh đang hoạt động ở nhiệt độ 600°C, phần thủy tinh đó sẽ co lại ngay lập tức. Đó chính là nguyên nhân gây ra các vết nứt trên ống thủy tinh.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng thủy tinh thủy tinh được gia cố và lớp vỏ chống thấm nước. Lớp vỏ này giúp bảo vệ các bộ phận bên trong khỏi sự tác động của chất lỏng, đồng thời vẫn cho ánh sáng hồng ngoại chiếu qua để làm khô wafer.
Ngăn chặn sự xâm nhập của các mảnh vụn
Để đảm bảo rằng không có gì có thể chạm vào wafer, chúng tôi sử dụng hệ thống bao bọc kép. Bóng đèn được đặt bên trong một lớp vỏ kín, chống hóa chất. Điều này giúp ngăn chặn mọi mảnh vụn rơi vào wafer. Chúng tôi cũng sử dụng các miếng đệm chống thấm ở các đầu nối điện. Nếu ẩm ướt xâm nhập vào các kết nối điện, điều đó có thể gây ra hiện tượng chập điện và làm hỏng bóng đèn. Các miếng đệm này giúp ngăn chặn điều đó.
Những gì cần lưu ý khi lắp đặt
Việc sử dụng lớp vỏ chống thấm nước sẽ làm thay đổi một chút cách hoạt động của bóng đèn. Do có thêm vật liệu bao bọc, nhiệt độ không còn lan tỏa nhanh như khi chỉ sử dụng ống thủy tinh thông thường. Bạn có thể cần điều chỉnh thời gian khởi động và mức công suất của bóng đèn để phù hợp với điều kiện này. Ngoài ra, hãy kiểm tra các quạt làm mát để đảm bảo rằng thiết bị luôn mát trong quá trình sản xuất.
Việc thay thế các bộ phận này vào giá đỡ hiện tại khá đơn giản. Chỉ cần lưu ý một điều: hãy đảm bảo rằng các miếng đệm được lắp chặt. Chỉ cần một khe hở nhỏ thôi cũng đủ để ẩm ướt xâm nhập vào bên trong.