Trong quy trình sản xuất, việc thay đổi nhiệt độ nướng chỉ 0,5 độ cũng có thể khiến các kích thước quan trọng của vật liệu thay đổi vài nanomet – điều này sẽ làm hỏng hàng giờ làm việc trong quy trình in ấn. Các bóng đèn hồng ngoại dùng để xử lý graphene giúp giải quyết vấn đề này. Chúng thay thế các bộ sưởi thông thường bằng nguồn nhiệt ổn định và nhanh chóng, giúp duy trì nhiệt độ trong phạm vi cho phép.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi chế tạo các bóng đèn hồng ngoại dựa trên graphene nhằm đảm bảo tốc độ và độ tái tạo cao; chúng phản ứng nhanh và ổn định. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer đạt mức ±0,1°C. Hệ thống này hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, không tạo ra bụi bẩn hay khí thải, từ đó giảm thiểu số lượng lỗi. Độ ổn định của nguồn năng lượng duy trì được trong hơn 5.000 giờ, với sai số dưới 5%. Nhờ đó, mỗi wafer đều nhận được cùng mức năng lượng – ngay cả khi sản xuất nhiều lô liên tiếp. Sau khi cửa được mở/khép, các bóng đèn sẽ nhanh chóng trở lại trạng thái ổn định, giúp duy trì chất lượng quy trình in ấn.
Tại sao đây là giải pháp phù hợp
Trong quy trình xử lý photoresist, bước nướng có vai trò quan trọng trong việc kiểm soát độ căng của lớp phim, độ nhạy của nó, cũng như hình dạng mép của lớp phim. Với các bóng đèn này, người ta có thể kiểm soát chặt chẽ hơn quá trình nướng, từ đó giảm thiểu việc phải làm lại công việc và nâng cao độ đồng đều của lớp phim trên toàn bộ sản phẩm. Tốc độ nướng nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý, mà không ảnh hưởng đến độ chính xác của nhiệt độ. Hiệu suất cao giúp giảm chi phí vận hành trên mỗi wafer. Đây là giải pháp tương đương với các tiêu chuẩn quốc tế, có thể được sử dụng ngay trong các dây chuyền sản xuất hiện có, mà không cần phải điều chỉnh lại toàn bộ quy trình – giúp duy trì chất lượng sản phẩm và tăng tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn.
Những điều cần lưu ý
Độ phát sáng của bóng đèn phụ thuộc vào độ sạch của cửa sổ thủy tinh và mức độ phẳng của bề mặt lắp đặt. Bạn cần tuân thủ các quy định về mô-men xoắn và quy trình vệ sinh để đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ ở mức ±0,1°C. Bóng đèn cần có nguồn cung cấp điện ổn định và máy đo nhiệt độ chính xác để có thể kiểm soát hiệu quả quá trình hoạt động. Một khi hệ thống đã được điều chỉnh đúng cách, nó có thể hoạt động 24/7 với khoảng thời gian bảo trì ổn định, giúp giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động không mong muốn.