Trên sàn sản xuất, một đặc tính đèn bị trôi không kích hoạt báo động. Nó biểu hiện dưới dạng điểm nóng 0,3°C trên toàn bộ wafer, sự dịch chuyển chậm trong kích thước quan trọng và lớp photoresist không thể nướng đều. Khi công cụ Mattson RTP lão hóa, tính đồng đều nhiệt là yếu tố đầu tiên bị ảnh hưởng. Đèn thay thế mà chúng tôi sử dụng được thiết kế để kéo lại sự dịch chuyển đó và đưa kiểm soát quy trình trở lại vị trí cần thiết.
Trung tâm kỹ thuật của nó là độ chính xác gia nhiệt hồng ngoại. Chúng tôi kết hợp hình học buồng Mattson với nguồn bức xạ hồng ngoại sóng ngắn, đạt độ đồng đều dưới mili mét trên mặt phẳng wafer và các biểu đồ nhiệt độ có thể lặp lại qua từng lần chạy. Mảng đèn được hiệu chuẩn để giữ ±0,1°C trên vùng hoạt động, đảm bảo các bước soft bake và hard bake đáp ứng ngân sách nhiệt mà quá trình lithography yêu cầu.
Bạn nhận được sự ổn định đầu ra trên 5.000+ giờ, với độ giảm cường độ dưới 5%, và không sinh hạt trong quá trình tăng nhiệt và giữ nhiệt. Tương thích với phòng sạch cấp 1–100 được tích hợp trong thiết kế, với các thành phần quartz kín và giao diện thao tác sạch giúp ngăn ngừa nhiễm bẩn vào dòng quy trình.
Lý do điều này quan trọng trên dây chuyền: giảm số lượng lô hiệu chuẩn, biên độ cửa sổ kiểm soát chặt chẽ hơn và giảm tiêu thụ năng lượng nhờ phản ứng đèn hiệu quả và ổn định nhanh. Đặc tính photoresist duy trì ổn định, giảm công đoạn làm lại và bảo vệ tỷ lệ thành phẩm. Đèn thay thế lắp vừa khít trên nền tảng Mattson với các đầu nối và dung sai gắn đúng chuẩn, giúp việc lắp đặt đơn giản và thời gian ngưng máy ngắn.
Một vài điểm cần lưu ý. Tuổi thọ đèn bị ảnh hưởng bởi việc bật tắt nguồn và nếu nhiệt độ chất làm mát không ổn định. Lên kế hoạch thay thế vào các khung thời gian bảo trì dự kiến, kiểm tra tình trạng phản xạ trong buồng và xác nhận hiệu chuẩn nguồn điện sau khi lắp để giữ độ đồng đều trong giới hạn quy định.