Het juiste temperatuurniveau bereiken bij het harden van wafers in een halfgeleiderfabriek
Hier ligt de echte uitdaging in een halfgeleiderfabriek: je moet de wafer met warmte bestrijden, en dat moet snel gebeuren. Maar je kunt niet zomaar de temperatuur verhogen in de hoop op het beste resultaat. Als je de omgeving rondom de wafer te veel verhit, ontstaan er problemen.
We lossen dit op door gecertificeerde IR-lampen te combineren met reflectoren die zijn bedekt met goud. Het doel? Zoveel mogelijk energie besparen.
Waarom goud?
De meeste mensen beginnen met aluminiumreflectoren, maar die werken niet goed. Ze absorberen te veel energie en verspreiden het licht overal heen. Goud is anders: het weerspiegelt het nabije infrarode licht uitstekend.
Door een dun laagje goud te gebruiken, zeggen we letterlijk tegen de fotonen: “Raak het machineframe niet aan – ga terug naar de wafer.” Hierdoor wordt de hittegerichtheid verminderd en kan de opwarmtijd worden verkort. Het is efficiënt en schoon.
Let op de hittedichtheid
Er is echter één nadeel: wanneer je goud gebruikt om al die energie te concentreren, stijgt de hittedichtheid op het oppervlak enorm. Het wordt erg heet.
Hier moet je goed opletten als het gaat om koeling. Als je luchtcirculatie of koelapparaten niet voldoende zijn, kunnen de ondergronden beschadigen of kunnen de lampen kapotgaan. We besteden vaak veel tijd aan het afstemmen van de vermogenssterkte en de vorm van de reflectoren, zodat we het optimale resultaat bereiken.
De lampen in de praktijk
Deze lampen zijn ontworpen voor een schone omgeving. Ze passen dus gemakkelijk in de beperkte ruimtes in een fabriek.
Eén ding om onthouden: goud is gevoelig. Als er stof op de reflectoren terechtkomt, neemt de efficiëntie af. Dan moet je de vermogenssterkte verhogen om hetzelfde resultaat te bereiken. Houd ze dus schoon.
Een tip voor de bedrading: zorg ervoor dat je voedingsbron voldoende stroom kan leveren om de eerste schokken op te vangen. Het voordeel van een systeem met goudcoating is dat je de totale stroominname kunt verminderen, terwijl de wafer toch op de gewenste temperatuur blijft.