Het voorkomen van vervuiling van de wafers: Hoe moet je omgaan met IR-lampen in de reinigingszones?
Eerlijk gezegd is de fase van reinigen en drogen van wafers een gevaarlijke situatie. Er zijn namelijk krachtige infraroodlampen die zich recht naast waterstraaltjes en chemicaliën bevinden. Dat is een recept voor problemen.
Als er een lamp kapotgaat in deze omgeving, heeft dat niet alleen tot gevolg dat de lamp kapot is, maar ook dat er stukjes glas en andere deeltjes op de wafers terechtkomen. Dat betekent direct een verlies aan productiecapaciteit.
Het probleem van thermische schokken
Standaard kwartsbuisjes kunnen de hitte – of juist de kou – niet verdragen. Wanneer er een druppel koud water op een buisje terechtkomt dat op 600°C werkt, krimpt het glas op één plek onmiddellijk in. Hierdoor ontstaan spanningsscheuren in het glas.
Om dit te voorkomen, gebruiken we versterkt kwartsglas en een waterdichte huls. Deze huls fungeert als schild: hij houdt de vloeistoffen op afstand van de verwarmings-elementen, terwijl het Infraroodlicht er wel doorheen kan gaan, zodat de wafers droog blijven.
Het voorkomen van vuil
Om er zeker van te zijn dat er niets in contact komt met de wafers, gebruiken we een dubbele bescherming. De lamp zit dus in een afgesloten, chemisch bestendige huls. Dit is eigenlijk een soort ‘verzekeringspolis’. Als het filament kapotgaat of de binnenste buis breekt, vangt de buitenste huls alles op. Er komen geen stukjes glas meer in contact met de wafers. We gebruiken ook sterke sluitingen op de uiteinden van de buizen. Als vocht bij de elektrische verbindingen komt, kan dat leiden tot kortsluitingen en kapotte lampen. De sluitingen voorkomen dit.
Wat je kunt verwachten tijdens de installatie
Het gebruik van een waterdichte huls verandert de situatie iets. Omdat er meer materiaal is, bereikt de hitte de wafers niet zo snel als wanneer er geen huls wordt gebruikt. Je zult waarschijnlijk je instellingen voor de temperatuur en de stroomsterkte moeten aanpassen. Kijk ook goed naar de koelventilatoren: ze moeten ervoor zorgen dat de behuizing koel blijft tijdens de lange productietijden.
Het instellen van deze apparaten in je huidige rack is vrij eenvoudig. Eén tip: zorg ervoor dat de sluitingen goed vastzitten. Een klein spleetje is al voldoende om vocht binnen te laten komen.