Het juiste gebruik van IR-reflectoren voor het drogen van wafers
Bij het drogen van wafers komt het erop neer hoe je de warmte beheert. Veel mensen denken dat het antwoord is om de vermogenssterkte van de lampen te verhogen. Maar dat is zonde van energie. We richten ons liever op de reflectoren. Zij zorgen ervoor dat de infrarode energie rechtstreeks op het substraat terechtkomt, in plaats van alleen maar de ruimte te verwarmen.
Vooral nu iedereen streeft naar ‘groene fabrieken’, gaat het niet om meer vermogen – maar om ervoor te zorgen dat elke foton wordt benut.
Waar de warmte naartoe gaat
Stel je eens voor: een lamp zonder Reflector gooit letterlijk de helft van zijn energie weg. Dat is veel verspilde energie.
Wij gebruiken goud- of aluminiumcoatings om de kortegolflange infrarode straling weer terug te reflecteren op de wafer. Hierdoor neemt de warmtestroom toe, zonder dat je de vermogenssterkte van de lampen hoeft aan te passen. Meer reflectiviteit betekent minder kilowatturen per wafer. Eenvoudig genoeg.
Het juiste materiaal kiezen
Je kunt niet zomaar elk metaal gebruiken. Het hangt af van hoe heet de droogingszone moet worden.
Hogepure aluminium werkt meestal goed. Maar wanneer de hitte intens wordt, gebruiken we goudgecoat kwarts of gespecialiseerde keramiek. Waarom? Omdat constante opwarming en afkoeling goedkopere materialen kan beschadigen.
De vorm van de reflectoren is ook belangrijk. Als de curve zelfs maar een paar millimeter afwijkt, ontstaan er hete plekken. En hete plekken zijn een groot probleem: ze kunnen de wafer beschadigen of zorgen voor ongelijkmatig drogen.
Vermogen en ruimte in balans brengen
Het verminderen van het energieverbruik in een fabriek begint meestal met het verminderen van de energie die werd verspild.
Met een systeem met hoge reflectiviteit kun je lampen met lagere vermogenssterktes gebruiken, terwijl je toch het gewenste temperatuurniveau bereikt. Bovendien hoeven de koelsystemen in de fabriek minder hard te werken. Het is dus een win-winsituatie.
Er is echter één nadeel: deze reflectoren concentreren de warmte zeer intensief. Als de snelheid van de conveyor varieert, kan dit ertoe leiden dat de randen van de wafer ongewenst worden overgedroogd. Je moet de snelheid van de conveyor en de intensiteit van de warmte precies in balans houden, anders creëer je alleen maar afval.
Wij ontwerpen deze reflectoren zo dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Op deze manier kun je je emissiedoelstellingen bereiken, zonder dat je je hele apparatuur hoeft te vervangen.