웨이퍼의 오염을 막기 위해: 세척 구역에서의 IR 램프 사용법
솔직히 말해서, 웨이퍼 제조 공정의 세척 및 건조 단계는 매우 위험한 과정입니다. 고출력의 적외선 램프가 물줄기와 화학물질들과 가까이 위치해 있기 때문입니다. 이는 재앙을 부를 수 있는 상황입니다.
만약 그런 환경에서 램프가 고장나면, 단순히 램프가 고장난 것에 그치지 않습니다. 유리 조각들이 웨이퍼 위로 떨어지게 되는 것입니다. 이는 웨이퍼의 품질을 현저히 떨어뜨리는 요인이 됩니다.
열충격의 문제
일반적인 석영관은 열이나 추위를 견딜 수 없습니다. 600°C로 가열된 램프에 찬물이 닿으면, 그 부분의 유리가 즉시 수축합니다. 이것이 바로 스트레스 균열이 생기는 원인입니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 강화된 석영유리와 방수 커버를 사용합니다. 이 커버는 마치 보호막처럼 작용하여 액체가 가열 요소에 닿는 것을 막아주면서도 적외선은 그대로 통과시켜 웨이퍼를 건조시킬 수 있도록 합니다.
부스러기를 막는 방법
웨이퍼가 어떤 것에도 접촉하지 않도록 하기 위해, 우리는 이중 보호 시스템을 사용합니다. 램프는 밀폐된, 화학물질에 강한 커버 안에 있습니다. 이는 일종의 보험이라고 할 수 있습니다. 만약 필라멘트나 내부 관이 파손되어도, 외부 커버가 모든 것을 막아줍니다. 그래서 유리 조각들이 웨이퍼에 닿지 않습니다. 또한, 연결 부분에도 견고한 밀폐재를 사용합니다. 습기가 전기 연결 부분으로 들어가면 단락이 발생할 수 있으므로, 밀폐재가 이를 막아줍니다.
설치 시 주의사항
방수 커버를 사용하면 열이 그다지 빠르게 전달되지 않습니다. 물질의 두께가 늘어나기 때문입니다. 따라서 열상승 속도와 전력 설정을 조절해야 합니다. 또한, 냉각팬도 잘 확인해야 합니다. 긴 시간 동안 고부하 상태에서 작동할 때는 하우징이 계속 시원하게 유지되어야 합니다.
현재 사용 중인 랙에 이를 설치하는 것은 비교적 간단합니다. 단 한 가지 주의점은, 밀폐재가 잘 고정되어 있는지 확인하는 것입니다. 아주 작은 틈만 있어도 습기가 들어올 수 있습니다.