조광이 가능한 반도체 히터 램프

리소그래피 공정에서는 알다시피, 소프트 베이크 공정 중에 0.5도만 차이가 나도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 선들이 갑자기 원하는 위치에서 벗어나게 되는 것이죠. 우리는 열량을 정확하게 제어하기 위해 조절 가능한 반도체 히터 램프를 개발했습니다. 이 램프를...