웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

IR 가열과 고온 공기 가열의 비교: 웨이퍼 처리에 있어 왜 이 선택이 중요한가? 만약 깊은 공정 처리 시 고온 공기 가열 대신 적외선(IR) 가열을 사용하고 싶다면, 그건 단순히 새로운 가열 장치를 선택하는 것 이상의 의미를 가집니다. 사실상, 모든 공정 속도를 늦...