클래스 100급 청정실을 계속해서 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 환경을 운영할 때 가장 원하지 않는 것은 난방 장치에서 입자가 발생하거나 가스가 공기 중으로 유출되는 것입니다. 이는 큰 문제가 됩니다. 일반적인 적외선 램프들은 이러한 문제를 해결할 수 없습니...

300mm 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C 정도의 온도 변동이 발생해도 큰 경고 신호로 나타나지 않습니다. 대신, 측정 시 선의 폭에 변화가 생기고, 그 결과 불량 웨이퍼가 발생하게 됩니다. 열 관리가 이미 매우 중요하기 때문에, 히터는 단순한...