중파 석영 히터 튜브

300mm 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C 정도의 온도 변동이 발생해도 큰 경고 신호로 나타나지 않습니다. 대신, 측정 시 선의 폭에 변화가 생기고, 그 결과 불량 웨이퍼가 발생하게 됩니다. 열 관리가 이미 매우 중요하기 때문에, 히터는 단순한...