왜 반도체 처리용 트롤리에는 적외선을 사용하는가?
반도체 처리용 트롤리를 가열할 때 우리는 적외선을 사용합니다. 그 이유는 기존의 대류식 오븐을 사용하는 방식은 문제가 많기 때문입니다. 그러한 오븐들은 미세한 입자들을 배출할 수 있으며, 치유 과정에서 유해한 화학물질이나 VOC가 필요합니다.
반면 적외선은 그런 문제들을 전혀 겪지 않습니다. 공기를 가열하는 대신, 에너지를 직접 재료 속으로 전달합니다.
이것은 다른 종류의 열입니다.
추운 날에 햇볕 아래에 서 있는 것을 생각해보세요. 공기가 따뜻해지는 것을 느끼는 것이 아니라, 피부에 직접 닿는 열을 느낍니다.
클린룸 내의 트롤리에서는 단파 적외선이 코팅이나 접착제 깊숙이 침투하여 내부에서부터 재료를 치유시킵니다. 방 전체를 가열할 필요가 없기 때문에 상당한 양의 에너지를 절약할 수 있습니다. 보통은 강제 풍량을 이용하는 시스템보다 30%에서 50% 더 적은 에너지가 필요합니다. 이는 지구와 전력 비용 면에서 큰 이점입니다.
청결성 유지
무연 납땜을 할 때는 높은 온도와 매우 정확한 온도 조절이 필요합니다. 적외선 램프는 몇 초 만에 그러한 온도에 도달할 수 있어서 이상적입니다. 연소나 그을음, 탄소 배출이 없어 웨이퍼가 손상될 위험이 없습니다. 또한, 램프를 고순도 석영으로 감싸서 가스가 발생하는 것을 방지합니다.
단점도 있습니다
적외선은 훌륭하지만 한 가지 단점이 있습니다. 바로 직선 방향에서만 작동한다는 것입니다.
트롤리의 형태가 복잡하거나 불규칙하다면, 특정 부분이 차가워질 수 있습니다. 그래서 우리는 반사판의 각도를 신중하게 조절해야 합니다. 그래야만 열이 트레이의 모든 구석까지 도달할 수 있습니다.
게다가 열이 너무 강력하기 때문에, 아무 프레임에나 그냥 설치할 수는 없습니다. 반드시 충분한 단열 처리가 필요합니다. 그렇지 않으면 Chassis가 변형될 수 있으며, 심지어 클린룸의 온도 경보가 작동하여 건물 안의 모든 사람들이 깨어날 수도 있습니다.