에너지 절약형 반도체 히팅
공기를 가열하는 것을 그만두세요: 왜 적외선 기술이 더 효율적인 생산 공정의 비결인가?
Industry 4.0을 위한 스마트 팩토리를 구축하려 한다면, 기존의 열 처리 방식으로는 충분하지 않다는 사실을 알고 있을 것입니다. 전통적인 대류식 가열 방식은 속도가 느리고...
반도체 히터용 테플론 선
히터가 생산 효율을 망치는 것을 막으세요.
고부하의 반도체 생산을 하고 있다면, 이러한 악몽 같은 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 즉, 적외선 램프가 파손되는 것입니다.
그건 재앙입니다. 석영관이 파열되면, 유리 조각과 금속 찌꺼기들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그 결...
반도체 히터용 서모커플
공장 내에서 정확한 온도 데이터를 얻는 방법
“스마트 팩토리”를 구축하려면, 단순히 고급 소프트웨어만으로는 부족하다는 것을 알고 있을 것입니다. 그냥 대시보드를 구입하는 것만으로는 충분하지 않습니다. 실제로 데이터와 상호작용할 수 있는 하드웨어가 필요합니다.
반도체...
반도체 청정실용 트롤리 히터
왜 반도체 처리용 트롤리에는 적외선을 사용하는가?
반도체 처리용 트롤리를 가열할 때 우리는 적외선을 사용합니다. 그 이유는 기존의 대류식 오븐을 사용하는 방식은 문제가 많기 때문입니다. 그러한 오븐들은 미세한 입자들을 배출할 수 있으며, 치유 과정에서 유해한 화학물질...
조광이 가능한 반도체 히터 램프
리소그래피 공정에서는 알다시피, 소프트 베이크 공정 중에 0.5도만 차이가 나도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 선들이 갑자기 원하는 위치에서 벗어나게 되는 것이죠. 우리는 열량을 정확하게 제어하기 위해 조절 가능한 반도체 히터 램프를 개발했습니다. 이 램프를...
유기 반도체 건조 램프
라인 위에서 웨이퍼는 베이크를 기다리고 있으며, 당신의 스케줄도 마찬가지다—둘 다 안정적인 상태를 기대한다. 온도 편차 하나, 레지스트 위의 국소적 고온 지점 하나가 생기면 중요한 라인폭이 흔들리기 시작한다. 유기 반도체 작업에서는 열 예산이 매우 제한적이며, 허용...