웨이퍼를 건조할 때 가장 중요한 것은 열을 어떻게 처리하느냐입니다. 대부분의 사람들은 단순히 전력을 높이는 것이 해답이라고 생각하지만, 그건 낭비일 뿐입니다. 우리는 반사체에 집중합니다. 반사체야말로 적외선 에너지가 실제로 웨이퍼에 도달하도록 하는 비결입니다. 그렇지 않으면 방 전체가 뜨거워질 뿐입니다.
특히 요즘처럼 ‘친환경 공장’을 추구하는 상황에서는 더 많은 전력을 사용하는 것이 아니라, 모든 광자를 효율적으로 활용하는 것이 목표입니다.
열이 실제로 어디로 가는가? 생각해보세요. 반사체가 없는 건조등은 에너지의 절반을 낭비하는 셈입니다. 이는 엄청난 낭비입니다. 우리는 금이나 알루미늄 코팅을 사용하여 단파 적외선을 다시 웨이퍼로 반사시킵니다. 이렇게 하면 와트수를 높이지 않고도 열량을 늘릴 수 있습니다. 반사율이 높을수록 웨이퍼당 소요되는 전력량도 줄어듭니다. 간단하죠.
적절한 재료 선택 그냥 아무 금속이나 사용할 수는 없습니다. 어느 정도의 온도가 필요한지에 따라 달라집니다. 고순도 알루미늄은 대부분의 경우에 적합합니다. 하지만 온도가 매우 높아질 경우에는 금으로 코팅된 석영이나 특수 세라믹을 사용합니다. 왜냐하면 반복적인 가열과 냉각으로 인해 저가의 재료들은 변형될 수 있기 때문입니다. 또한 형태도 정확해야 합니다. 만약 곡률이 몇 밀리미터만큼이라도 틀어지면 과열된 부분이 생깁니다. 과열된 부분은 웨이퍼를 변형시키거나 균일하지 않은 건조 결과를 초래합니다.
전력과 공간의 균형 공장의 탄소 배출량을 줄이는 방법은 불필요한 에너지를 줄이는 것부터 시작됩니다. 높은 반사율을 가진 시스템을 사용하면, 더 낮은 와트수의 램프를 사용해도 목표 온도에 도달할 수 있습니다. 게다가 냉각 장치도 그다지 열심히 작동할 필요가 없습니다. 일석이조입니다. 하지만 단점도 있습니다. 이러한 반사체는 열을 집중시킵니다. 만약 컨베이어의 속도가 변동한다면, 웨이퍼의 가장자리가 과도하게 건조될 수 있습니다. 따라서 컨베이어의 속도와 반사체의 초점 강도를 완벽하게 조절해야 합니다. 그렇지 않으면 낭비가 발생합니다. 우리는 이러한 반사체를 교체용으로 설계합니다. 그렇게 하면 전체 장비를 해체하고 다시 조립할 필요 없이도 목표를 달성할 수 있습니다.