heater로 인해 MEMS의 생산 효율이 떨어지는 것을 막으세요.
만약 클래스 100급 청정실에서 작업을 하고 있다면, 제품의 품질이 저하되는 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 모든 것을 제대로 해도, 값싼 히터에서 나오는 미세한 입자들이나 가스들이 MEMS 센서 웨이퍼에 달라붙으면서 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 정말 답답한 상황입니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용하게 되었습니다. 부서질 수 있는 저항식 히터나 가스를 방출하는 램프 대신, 이 램프는 복사열만을 이용합니다. 물리적인 접촉도 없고, 공기의 흐름으로 인한 먼지 발생도 없습니다. 오직 깨끗하고 빠른 건조만이 가능합니다.
왜 석영이 중요한가요?
우리는 그냥 평범한 유리를 사용하지 않습니다. 고순도의 융합 실리카를 사용합니다. 이는 매우 튼튼하여 극심한 열충격에도 견딜 수 있습니다. 또한 금속 이온이 공정에 침투할 염려도 없습니다.
진정한 비결은 단파장 IR 스펙트럼에 있습니다. 에너지가 웨이퍼 위의 액체 잔여물을 즉시 날려버립니다. 정말 빠릅니다.
또한, 유기 결합제나 처음 몇 번 사용할 때 연소하여 연기를 내는 저품질 코팅도 전혀 없습니다. 스위치를 켜는 순간부터 일관된 열이 공급됩니다.
설치 방법
이 장비는 크기가 작아서 좁은 공간에 설치하기에 매우 적합합니다. 작은 크기에도 불구하고 강력한 출력을 제공하기 때문에 거의 즉시 작동합니다.
하지만 주의해야 할 점은, 한 곳에 너무 많은 열이 집중된다는 것입니다. 반드시 냉각 팬과 히트 싱크를 잘 확인해야 합니다. 웨이퍼가 빠르게 건조되면서 주변의 전자 장비가 손상되는 것을 원하지 않을 것입니다.
깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 환경에서는 “충분히 깨끗하다”는 것이 오히려 재앙을 초래할 수 있습니다.
우리는 최대한 간단한 구조를 사용합니다. 순수한 석영과 텅스텐만 사용합니다. 휘발성 페인트나 끈적한 접착제는 전혀 사용하지 않습니다. 석영 커버를 단단히 밀봉하여 필라멘트가 산화되는 것을 방지합니다. 그래서 램프가 파손되어 미세한 유리 조각들이 웨이퍼에 달라붙는 문제도 없습니다.
히터를 오염원으로 제거하면 작업이 훨씬 수월해집니다. 생산 효율도 그대로 유지됩니다.