웨이퍼 가공 공정에서 적절한 열을 공급하는 것은 매우 중요합니다. 반도체 공장에서는 웨이퍼에 열을 빠르게 가해야 합니다. 하지만 그냥 열의 강도를 높여서는 안 됩니다. 왜냐하면 웨이퍼 주변의 장비가 과열되면 문제가 생기기 때문입니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 인증된 IR 경화 램프와 금으로 코팅된 반사체를 함께 사용합니다. 목표는 에너지 낭비를 줄이는 것입니다.
왜 금인가? 대부분의 사람들은 알루미늄 반사체를 사용하지만, 이것은 적합하지 않습니다. 알루미늄은 너무 많은 에너지를 흡수하여 빛을 여기저기로 퍼뜨립니다. 반면 금은 근적외선을 효과적으로 반사할 수 있습니다.
금으로 만든 얇은 층을 사용하면, 광자들이 기계 프레임에 부딪히지 않고 다시 웨이퍼로 돌아가도록 할 수 있습니다. 이를 통해 열의 집중도를 높이고 가열 시간을 단축할 수 있습니다. 효율적이고 깨끗한 방법입니다.
열 밀도에 주의해야 합니다 하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 금을 사용하여 에너지를 집중시키면 표면의 열 밀도가 급격히 상승합니다. 매우 뜨거워집니다.
이때는 냉각 시스템에 신경을 써야 합니다. 만약 공기 흐름이나 냉각 장치가 제대로 작동하지 않으면, 웨이퍼가 손상되거나 램프가 손상될 수 있습니다. 우리는 일반적으로 와트수와 반사체의 형태를 조절하여 W/cm² 단위로 적절한 온도를 유지합니다.
램프의 특성을 고려해야 합니다 이러한 램프들은 클린룸용으로 설계되었기 때문에, 디자인도 간단합니다. 좁은 공간에서도 잘 작동합니다.
기억해야 할 것은 금은 섬세한 재료라는 점입니다. 반사체에 먼지가 쌓이면 효율성이 떨어집니다. 그러면 같은 결과를 얻으려면 더 많은 전력이 필요해집니다. 그러면 램프가 더 빨리 손상됩니다. 반드시 깨끗하게 유지해야 합니다.
또한, 배선 시에는 전원 공급 장치가 초기의 큰 전류를 견딜 수 있는지 확인해야 합니다. 금으로 코팅된 시스템의 장점은 전체 전력 입력을 줄여도 웨이퍼의 온도를 정확하게 유지할 수 있다는 것입니다.