वेफरों में संदूषण को रोकना: रिन्सिंग जोन में आईआर लैंपों का उपयोग कैसे करें?
ईमानदारी से कहें तो, वेफर निर्माण प्रक्रिया में रिन्सिंग एवं सुखाने का चरण बहुत ही जोखिम भरा होता है। यहाँ उच्च शक्ति वाले इन्फ्रारेड लैंप, पानी एवं रसायनों के ठीक बगल में ही होते हैं… ऐसी स्थिति में आपको बड़ी समस्याओं का सामना करना पड़ सकता है।
यदि ऐसे वातावरण में लैंप टूट जाए, तो आपको सिर्फ टूटे हुए लैंप ही नहीं, बल्कि टूटे हुए टुकड़ों का भी सामना करना पड़ेगा… यह वेफरों की गुणवत्ता को नष्ट करने का कारण बन सकता है।
थर्मल शॉक की समस्या
सामान्य क्वार्ट्ज ट्यूबें न तो गर्मी को सह सकती हैं, न ही ठंड को… जब 600°C तापमान पर ठंडा पानी ट्यूब पर गिरता है, तो काँच तुरंत सिकुड़ जाता है… ऐसी स्थिति में ही ट्यूब में दरारें पड़ जाती हैं।
हम इस समस्या से निपटने हेतु मजबूत क्वार्ट्ज ग्लास एवं जलरोधक कवरों का उपयोग करते हैं… ये कवर तरल पदार्थों को हीटिंग तत्वों से दूर रखते हैं, जबकि आईआर किरणों को वेफरों तक पहुँचने देते हैं।
कचरे को रोकना
यह सुनिश्चित करने हेतु कि कोई भी चीज वेफरों को छू न सके, हम द्विस्तरीय सुरक्षा व्यवस्था का उपयोग करते हैं… लैंप एक सीलबंद, रासायनिक-प्रतिरोधी कवर में ही होता है… ऐसी व्यवस्था से कोई भी काँच का टुकड़ा वेफरों तक नहीं पहुँच पाता… हम एंड-कैपों पर भी मजबूत सीलों का उपयोग करते हैं… यदि नमी विद्युत कनेक्शनों में घुस जाए, तो शॉर्ट-सर्किट हो सकता है… सीलों के कारण ही ऐसी समस्याएँ नहीं होतीं।
सेटअप के दौरान क्या ध्यान रखना चाहिए?
जलरोधक कवरों के उपयोग से थोड़ा बदलाव आ जाता है… चूँकि अब अधिक सामग्री है, इसलिए गर्मी उतनी तेजी से नहीं पहुँच पाती… आपको अपने पावर सेटिंग्स में भी बदलाव करने की आवश्यकता होगी… साथ ही, कूलिंग फैनों की भी जाँच करें… ऐसी लंबी उत्पादन प्रक्रियाओं के दौरान हाउजिंग को ठंडा रखना आवश्यक है।
इन कवरों को अपने रैक में लगाना बहुत ही आसान है… बस एक ही बात ध्यान रखें: सीलों को अच्छी तरह बंद रखें… थोड़ी सी भी खाली जगह होने से नमी अंदर घुस सकती है।