फैब्रिकेशन लाइन पर, बेकिंग तापमान में आधे डिग्री का अंतर भी किसी उत्पाद के आकार/आकृति में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है… जिससे घंटों की मेहनत बर्बाद हो जाती है। ग्रेफीन प्रसंस्करण हेतु उपयोग में आने वाले इनफ्रारेड लैंप, इस समस्या का समाधान करते हैं। ये पारंपरिक हीटरों की जगह ऐसी ऊर्जा प्रदान करते हैं, जिससे थर्मल स्थितियाँ नियंत्रण में रहती हैं।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हमने ग्रेफीन-आधारित इनफ्रारेड एमिटरों को गति एवं दोहरावीयता हेतु विकसित किया है… ताकि ये तेज़ एवं पूर्वानुमेय तरीके से कार्य कर सकें। इससे बेकिंग सतह पर ±0.1°C की सुसंगतता प्राप्त होती है। यह सिस्टम क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी कार्य कर सकता है… बिना किसी कण/गैस उत्सर्जन के… जिससे दोषों की संख्या कम रहती है। 5,000 घंटों से अधिक समय तक इसका आउटपुट स्थिर रहता है… जिससे हर वेफर को समान ऊर्जा मिलती है। दरवाज़ा खोलने/बंद करने के बाद भी ये लैंप कुछ ही सेकंड में पुनः स्थिर हो जाते हैं… जिससे सॉफ्ट बेकिंग/हार्ड बेकिंग प्रक्रियाएँ बरकरार रहती हैं।
यह प्रक्रिया के लिए क्यों उपयुक्त है?
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, बेकिंग चरण फिल्म के तनाव, संवेदनशीलता एवं किनारों की आकृति को निर्धारित करता है। इन लैंपों के उपयोग से सॉफ्ट बेकिंग/हार्ड बेकिंग पर बेहतर नियंत्रण प्राप्त होता है… जिससे पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादों की गुणवत्ता में सुधार होता है। तेज़ गति से चक्र समय कम हो जाता है… जबकि थर्मल स्थितियाँ नियंत्रण में ही रहती हैं… जिससे प्रति वेफर लागत कम हो जाती है। यह एक अंतरराष्ट्रीय मानकों के अनुरूप विकल्प है… जिसे मौजूदा लाइनों में ही उपयोग में लाया जा सकता है… इसलिए पूरी प्रक्रिया को पुनः विकसित करने की आवश्यकता नहीं है… आप अपनी प्रक्रियाओं को बरकरार रख सकते हैं, एवं उत्पादन दर में वृद्धि कर सकते हैं।
क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
लैंप का आउटपुट, क्वार्ट्ज विंडो की स्वच्छता एवं माउंटिंग की समतलता पर निर्भर है। ±0.1°C की सुसंगतता हेतु, निर्धारित टॉर्क एवं क्लीनरूम संबंधी नियमों का पालन आवश्यक है। एमिटर के लिए एक विशेष, कम-वोल्टेज वाला पावर सप्लाई एवं कैलिब्रेटेड पाइरोमीटर आवश्यक है… इंटरफेस संबंधी कार्यों की योजना पहले ही बना लेनी चाहिए। एक बार यह सिस्टम सही ढंग से सेट हो जाने के बाद, यह 24/7 कार्य कर सकता है… जिससे अप्रत्याशित रुकावटें न्यूनतम रहती हैं।