Deje de esperar a que el aire caliente las obleas: por qué las lámparas infrarrojas de ultra alta pureza realmente funcionan
Si sigue dependiendo de la circulación de aire caliente, en realidad está perdiendo tiempo. Calienta el aire y luego espera a que ese aire caliente las obleas. Se trata de un proceso por convección, y es lento. En el mundo del procesamiento de semiconductores, esa demora no solo es molesta, sino que también le cuesta dinero.
Las lámparas infrarrojas de ultra alta pureza cambian completamente la situación. En lugar de utilizar el aire como medio para calentar, utilizan energía radiante para calentar directamente la superficie de las obleas.
Lo importante es la velocidad.
La calefacción por radiación no necesita intermediarios. Utilizamos emisores de ondas cortas que calientan la superficie objetivo casi al instante. Piénselo: un horno por convección tarda minutos en alcanzar la temperatura deseada. Una lámpara de ultra alta pureza, en cambio, alcanza su temperatura máxima en segundos.
Eso representa una gran ventaja para su producción. Puede procesar más obleas sin necesidad de tener que dejar espacio adicional para nuevo equipo.
Los detalles importantes (y las trampas)
Construimos estas lámparas con cuarzo de alta pureza. ¿Por qué? Porque en un entorno de ultra alta pureza, incluso un pequeño fragmento de tungsteno o alúmina puede arruinar todo un lote de obleas. Es un problema del cual preferiríamos no ocuparnos. También ajustamos cuidadosamente la potencia y el voltaje para que el calor se distribuya uniformemente sobre las obleas, evitando así puntos calientes.
Pero aquí está el problema: estas lámparas liberan una gran cantidad de energía en una área muy pequeña. Si su sistema de enfriamiento por agua no es eficaz, los sellos y conectores se derretirán. Debe asegurarse de que sus sistemas de enfriamiento funcionen correctamente, de lo contrario tendrá problemas.
Hacer que funcione en el mundo real
Nadie quiere pasar horas arreglando una máquina cuando algo falla. Por eso diseñamos estas lámparas para que se puedan reemplazar rápidamente. Cuando una lámpara se rompe, basta con reemplazarla y volver a poner la línea en marcha. Utilizamos conectores estandarizados para que no tenga que volver a conectar todo el sistema durante un período de mantenimiento.
Una última cosa: si pasa de usar aire caliente a lámparas infrarrojas, no basta con conectarlas y listo. Necesitará ajustar los parámetros del controlador. Las lámparas infrarrojas son muy rápidas, mucho más que el aire caliente. Si mantiene el controlador ajustado para el sistema antiguo, superará la temperatura deseada y arruinará sus piezas. Ajuste los parámetros adecuadamente y todo funcionará bien.