Die richtige Hitze beim Aushärten von Wafern in der Halbleiterfabrik
Hier liegt das eigentliche Problem in den Halbleiterfabriken: Man muss die Wafer mit Wärme bearbeiten – und zwar schnell. Doch man kann nicht einfach den Heizwert erhöhen und darauf hoffen, dass alles gut geht. Wenn man das Chassis um die Wafer überhitzt, entstehen Probleme.
Wir lösen dieses Problem, indem wir zertifizierte IR-Aushärtungsleuchten mit goldbeschichteten Reflektoren kombinieren. Ziel ist es, Energieverschwendung zu vermeiden.
Warum Gold?
Die meisten Menschen beginnen mit Aluminiumreflektoren – doch diese funktionieren nicht gut. Sie absorbieren zu viel Energie und streuen das Licht überallhin. Gold hingegen ist äußerst effektiv beim Reflektieren von Nahinfrarotlicht. Durch den Einsatz einer Goldschicht signalisieren wir den Photonen im Grunde: „Nehmt eure Energie nicht vom Maschinenrahmen auf – kehrt zurück zur Wafer.“ Dadurch wird die Wärmeeinwirkung reduziert und die Zeit bis zum Erreichen der gewünschten Temperatur verkürzt. Es handelt sich dabei um eine effiziente und saubere Lösung.
Achtung auf die Wärmedichte
Es gibt jedoch einen Haken: Wenn man Gold verwendet, um all diese Energie zu konzentrieren, steigt die Wärmedichte an der Oberfläche stark an. Es wird wirklich sehr heiß. Hier muss man auf eine gute Kühlung achten. Wenn die Luftzufuhr oder die Kühlkörper nicht ausreichen, können die Substrate beschädigt werden oder die Leuchten gehen kaputt. Wir investieren daher viel Zeit in die Optimierung der Leistung sowie der Form der Reflektoren, um die optimale Wärmedichte zu erreichen.
Umgang mit diesen Leuchten
Diese Leuchten sind für Reinräume konzipiert – daher ist ihr Design einfach gehalten. Sie passen in die engen Räume der Fabriken, ohne Platzprobleme zu verursachen.
Eines sollten Sie beachten: Gold ist empfindlich. Wenn sich Staub auf den Reflektoren ablagert, sinkt die Effizienz. Dann muss man die Leistung erhöhen, um das gleiche Ergebnis zu erzielen – was die Lebensdauer der Leuchten verkürzt. Halten Sie die Reflektoren also stets sauber.
Ein Tipp zur Verkabelung: Stellen Sie sicher, dass Ihre Stromversorgung die anfängliche Ströme aushalten kann. Der Vorteil eines goldbeschichteten Systems besteht darin, dass man die Gesamtleistung reduzieren kann, ohne dass die Wafertemperatur unter das gewünschte Niveau fällt.