Auf dem Produktionsschalter kann bereits eine Abweichung der Backtemperatur von einem halben Grad dazu führen, dass kritische Abmessungen um Nanometer verändert werden – was wiederum Stunden an Lithografiearbeit zunichte macht. Die Infrarotlampen für den Umgang mit Graphen adressieren dieses Problem direkt: Sie ersetzen die herkömmlichen Heizungen durch schnelle, stabile Strahlungswärme, wodurch die thermischen Bedingungen innerhalb des zulässigen Bereichs bleiben.
Was technisch wichtig ist:
Wir haben den grafenbasierten NIR-Emitter wegen seiner Geschwindigkeit und Wiederholgenauigkeit entwickelt. Er reagiert schnell und vorhersehbar. So wird eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1°C gewährleistet. Das System funktioniert in Reinräumen der Klasse 1–100, ohne Partikel oder Gase freizusetzen – dadurch werden Fehler minimiert. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Abweichung unter 5% liegt. Somit erhält jede Wafer die gleiche Energiedichte – Batch für Batch. Nach dem Öffnen bzw. Schließen der Tür stabilisiert sich das System innerhalb weniger Sekunden wieder, sodass die Profile für die weiche und harte Trocknung erhalten bleiben.
Warum das zum Prozess passt:
Bei der Verarbeitung von Photoresisten bestimmt der Trocknungsprozess den Spannungsgrad des Films, seine Empfindlichkeit sowie das Randprofil. Mit diesen Lampen lässt sich der Trocknungsprozess besser kontrollieren – dadurch wird die Anzahl der Nacharbeiten verringert und die Homogenität der Wafer verbessert. Die schnelle Temperaturanpassung verkürzt die Bearbeitungszeit, ohne die Genauigkeit des Trocknungsprozesses zu beeinträchtigen. Zudem senkt die Effizienz die Betriebskosten pro Wafer. Es handelt sich dabei um einen Ersatz, der den internationalen Standards entspricht – er kann direkt in vorhandene Lithografieanlagen eingebaut werden. Dadurch müssen Sie die gesamte Anlage nicht neu kalibrieren – Sie können Ihre Prozessparameter beibehalten und gleichzeitig die Ausbeute steigern.
Dinge, die man berücksichtigen muss:
Die Leistung der Lampe hängt von der Sauberkeit des Quarzfensters sowie von der Flachheit der Befestigung ab. Wenn Sie eine Homogenität von ±0,1°C erreichen möchten, müssen Sie sich an die vorgeschriebenen Drehmomente sowie an die Reinigungsverfahren halten. Der Emitter benötigt außerdem eine spezielle, rauschfreie Stromversorgung sowie einen kalibrierten Pyrometer für eine fehlerfreie Steuerung. Planen Sie die notwendigen Anschlüsse im Voraus. Sobald alles eingestellt ist, kann das System 24/7 betrieben werden, wobei die unplanmäßige Stillstandsdauer nahe bei Null bleibt.