Die richtige Beheizung in einem Reinraum der Klasse 100
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, ist die tatsächliche Temperatur eigentlich nur eine Nebensache. Der wahre Albtraum sind die Stoffe, die die Heizelemente in die Luft abgeben.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente eignen sich nicht für solche Anwendungen. Sie geben beim Erwärmen und Abkühlen Gase oder kleine Trümmerstücke ab. Wenn man mit Wafern oder optischen Beschichtungen arbeitet, reicht bereits ein einziges Partikel aus, um die ganze Charge zu ruinieren. Das ist frustrierend – und außerdem teuer.
Um das zu verhindern, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz sowie Kohlenstofffaserfilamente.
Warum wir Quarz verwenden
Wir nutzen Hochleistungsquarztuben, weil sie beim Erwärmen nicht zerfallen oder Splitter abgeben. Metallbeschichtungen können unzuverlässig sein – doch Quarz bleibt chemisch stabil.
Das Kohlenstofffaserelement wird in einer vakuumdichten Hülle untergebracht. Dadurch bleibt das Filament sicher eingesperrt – nichts kann in den Produktionsbereich gelangen. So entsteht eine saubere Wärmequelle – ohne schädliche Stoffe und Überraschungen.
Der Kompromiss: Wärmedichte
Kohlenstofffaserlampen bringen die Wärme extrem schnell auf. Das ist zwar vorteilhaft, doch die Wärme ist sehr konzentriert. Wenn man hohe Leistungswerte nutzt, darf man diese Wärme nicht einfach unkontrolliert lassen. Man benötigt daher einen geeigneten Wärmeableiter oder eine aktive Belüftung. Andernfalls kann die Wärme dazu führen, dass die Präzisionshalterungen beschädigt werden. Überprüfen Sie vor dem Einbau unbedingt die Halterungen – sie müssen die thermische Ausdehnung aushalten können. Andernfalls entstehen Probleme während der intensiven Arbeitsphasen.
Installation
Wir haben diese Lampen als Ersatz für bestehende Infrarotlamellen entwickelt. Wir haben die Abmessungen beibehalten – schließlich möchte niemand seinen Wochenendausflug damit verbringen, neue Halterungen anzufertigen.
Aber: Achten Sie bei der Installation besonders auf Sauberkeit. Verwenden Sie fusselfreie Tücher sowie Isopropylalkohol. Wenn sich auch nur ein Fingerabdruck auf dem Quarz befindet, wird dieser beim ersten Betrieb in das Glas eingebrannt. Dadurch entsteht eine „heiße Stelle“, die die Lebensdauer der Lampe verkürzt.
Schließlich sollte die Stromversorgung stabil sein. Spannungsschwankungen sind hier ein Problem. Eine konstante Stromstärke sorgt dafür, dass das Filament nicht pulsiert – dadurch bleibt das thermische Profil gleichmäßig und Ihre Geräte halten länger.