Verhinderung der Kontamination der Wafer: Wie man mit Infrarotlampen in den Spülzonen umgeht
Seien wir ehrlich: Die Spül- und Trocknungsphase bei der Herstellung von Wafern ist eine äußerst kritische Phase. Hier befinden sich hochleistungsstarke Infrarotlampen direkt neben Wassersprühköpfen und Chemikalien – das ist ein Rezept für Katastrophen.
Wenn eine Lampe in dieser Umgebung versagt, geht es nicht nur um eine kaputte Glühbirne. Es entstehen Glasscherben und Partikel, die auf die Wafer fallen. Das führt sofort zu einem Rückgang der Erträge.
Das Problem des thermischen Schocks
Herkömmliche Quarzröhren können weder die Hitze noch den Kälteeinfluss ertragen. Wenn ein Tropfen kalten Wassers auf eine Röhre trifft, die bei 600°C arbeitet, zieht sich das Glas an dieser Stelle sofort zusammen. Dadurch entstehen Spannungsrisse.
Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir verstärktes Quarzglas sowie wasserdichte Hüllen. Diese dienen als Schutzschild, der die Flüssigkeiten vom Heizelement fernhält, während gleichzeitig das Infrarotlicht passieren kann, um die Wafer zu trocknen.
Vermeidung von Schadstoffen
Damit nichts die Wafer berühren kann, verwenden wir eine doppelte Abschirmung. Die Lampe befindet sich in einer versiegelten, chemikalienresistenten Hülle. Das ist wie eine Art „Versicherung“. Falls der Glühfaden versagt oder die innere Röhre zerbricht, fängt die äußere Hülle alles auf. So gelangen keine Glasscherben in die Wafer. Wir verwenden außerdem hochwertige Dichtungen an den Endkappen. Wenn Feuchtigkeit in die elektrischen Anschlüsse dringt, kommt es zu Kurzschlüssen und defekten Lampen. Die Dichtungen verhindern das.
Was man beim Einbau beachten sollte
Der Einsatz einer wasserdichten Hülle ändert zwar etwas die Situation – doch aufgrund des zusätzlichen Materials erreicht die Hitze die Wafer nicht so schnell wie bei einer herkömmlichen Röhre. Sie müssen daher die Zeit und die Leistungseinstellungen anpassen. Achten Sie auch darauf, dass die Kühlventilatoren ordentlich funktionieren. So bleibt die Hülle während der langen Produktionsphasen kühl.
Der Einbau in Ihren aktuellen Rack ist ziemlich einfach. Nur eines: Stellen Sie sicher, dass die Dichtungen fest sitzen. Schon ein kleiner Spalt reicht aus, damit Feuchtigkeit eindringen kann.