工厂干燥系统的能源审计

消除晶圆干燥过程中的能源浪费 如果您曾经对半导体生产线进行过能源审计，那么您一定知道能源浪费最严重的地方就是晶圆干燥阶段。大多数工厂都依赖那些大型对流式烤箱来去除晶圆表面的水分，这种方式需要为腔室内的每一立方英寸的空气加热，这无疑会消耗大量能源。不过，其实有更好的方法。 与其加热空气，不如直接加热...