消除晶圆干燥过程中的能源浪费
如果您曾经对半导体生产线进行过能源审计，那么您一定知道能源浪费最严重的地方就是晶圆干燥阶段。大多数工厂都依赖那些大型对流式烤箱来去除晶圆表面的水分，这种方式需要为腔室内的每一立方英寸的空气加热，这无疑会消耗大量能源。不过，其实有更好的方法。
与其加热空气，不如直接加热晶圆本身。这时，短波红外线灯就派上用场了。
省去中间环节
红外线灯并不关心空气的情况，它们直接将电磁辐射传递到晶圆表面的水分子上。这样一来，就不必再浪费大量能源来加热机器的内部结构了。
此外，红外线加热是即时生效的。当晶圆进入加热区域时，就可以立即开始加热，而当晶圆离开该区域后，加热即可停止。这样就不会再有“无效的热量”浪费掉了。
平衡之道
当然，仅仅提高功率是不够的。为了达到理想的蒸发效果，还需要高功率密度。但这也会带来一些问题。如果功率过大，可能会对晶圆边缘造成热应力。因此，需要一个能够实时调节的控制系统，以防止过热现象发生。另外，还必须确保冷却风扇能正常工作——如果冷却系统不行，那么热量就会在洁净室内积聚，这是大家都不愿看到的情况。
对地球的好处
用红外线灯替代传统的燃气或传统电炉后，每块晶圆所需的能耗会大大降低。在大规模生产中，这些小小的节省累积起来效应显著。这意味着每年可以减少大量的二氧化碳排放量。这样一来，原本的瓶颈问题就能得到解决，生产过程也会变得更加高效、安静。同时，生产周期也会缩短，能源成本也会变得更为合理。