标签为“超高压”的页面如下 UHP 超高纯度 加热灯 别再等待了:为什么UHP红外灯如此高效 如果你仍然依赖热空气循环来加热晶圆,那其实就是在浪费时间。你先让空气变热,然后再等待空气把晶圆加热起来。这种对流方式效率极低。在半导体加工领域,这种延迟不仅令人烦恼,还会造成巨大的经济损失。 UHP(超纯度)红外灯则完全不同。它不依赖空气作为介质,而是直接用... Read more...
UHP 超高纯度 加热灯 别再等待了:为什么UHP红外灯如此高效 如果你仍然依赖热空气循环来加热晶圆,那其实就是在浪费时间。你先让空气变热,然后再等待空气把晶圆加热起来。这种对流方式效率极低。在半导体加工领域,这种延迟不仅令人烦恼,还会造成巨大的经济损失。 UHP(超纯度)红外灯则完全不同。它不依赖空气作为介质,而是直接用... Read more...