量子计算芯片制造用加热器

在量子芯片的制造过程中，一旦温度均匀性出现偏差，量子芯片的产量就会急剧下降。在光刻工艺中，如果晶圆表面的温度差异达到0.5摄氏度，就足以导致超导线路的位置偏移，使得线宽不符合标准，进而让数周的努力付诸东流。我们专门设计了这种加热器，就是为了确保光刻和烘烤过程中的温度始终处于稳定状态。 从技术角度来...