Menghentikan kebocoran tenaga semasa proses pengeringan di fasiliti pembuatan semikonduktor
Jika anda pernah melakukan penilaian penggunaan tenaga di lini pengeluaran semikonduktor, anda pasti tahu di mana berlakunya kebocoran tenaga tersebut. Biasanya ia berlaku pada tahap pengeringan. Kebanyakan fasiliti pembuatan semikonduktor menggunakan ketuhar konvektif yang besar untuk menghilangkan kelembapan dari wafer, dengan cara memanaskan setiap inci udara di dalam bilik tersebut. Ini memerlukan banyak tenaga untuk memastikan tiada kesan kelembapan pada produk akhir.
Namun, ada cara yang lebih baik untuk menangani masalah ini. Daripada memanaskan udara, mengapa tidak memanaskan wafer terus saja? Inilah fungsi lampu inframerah jarak dekat (IR).
Mengelakkan pembaziran tenaga
Lampu IR tidak memerlukan udara untuk berfungsi. Ia menghantar radiasi elektromagnetik secara langsung ke molekul air yang ada pada permukaan wafer. Dengan cara ini, kita dapat mengelakkan pembaziran tenaga yang digunakan untuk memanaskan dinding mesin.
Selain itu, penggunaan lampu IR membolehkan pemanasan yang cepat. Panas dapat diberikan sebaik sahaja wafer memasuki zon pemanasan, dan tenaga dapat diputuskan sebaik sahaja wafer keluar dari zon tersebut. Tidak ada lagi pembaziran tenaga yang sia-sia.
Keseimbangan yang tepat
Bukan sekadar meningkatkan intensiti pemanasan sahaja yang penting. Untuk mencapai kadar penyejatan yang diinginkan, diperlukan kepadatan tenaga yang tinggi. Namun, ini boleh menyebabkan tekanan haba yang berlebihan pada bahagian tepi wafer. Oleh itu, diperlukan sistem kawalan yang berfungsi secara real-time untuk mengelakkan wafer daripada terlalu panas. Jangan lupa juga tentang kipas penyejuk – jika kipas tersebut tidak berfungsi dengan baik, suhu di bilik bersih akan meningkat, dan ini tentu saja tidak diinginkan.
Keuntungan untuk planet ini
Dengan menggantikan ketuhar berbahan bakar gas atau elektrik yang lama dengan lampu IR, penggunaan tenaga per wafer akan berkurangan dengan ketara. Di fasiliti pembuatan semikonduktor yang memiliki kapasiti pengeluaran yang tinggi, penjimatan tenaga ini akan memberi manfaat yang besar. Ini bermakna jumlah karbon dioksida yang dilepaskan ke atmosfera dapat dikurangkan setiap tahun. Dengan cara ini, proses pengeluaran menjadi lebih efisien, dan bil utiliti pun akan menjadi lebih berpatutan.