Mengapa Reflektor Berlapis Emas Memang Penting untuk Wafer Anda
Jika anda pernah berada di bilik bersih untuk pemprosesan semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukarnya tugas tersebut. Anda perlu menggunakan tenaga yang sangat besar untuk menyalakan lampu inframerah, tetapi sebahagian besar tenaga tersebut hilang begitu sahaja. Tenaga tersebut akan dipantulkan ke arah yang salah, mengenai dinding atau bocor ke sisi lain, sementara wafer masih menunggu haba yang diperlukannya.
Ini merupakan pembaziran tenaga, dan juga menyebabkan masalah dalam proses pengeluaran. Inilah sebabnya kenapa emas digunakan sebagai bahan reflektor.
Rahsianya terletak pada cara pantulan cahaya tersebut.
Sudah tentu, anda boleh menggunakan aluminium sebagai bahan reflektor. Harganya lebih murah. Namun, aluminium tidak sesuai untuk suhu tinggi yang diperlukan dalam proses pemprosesan wafer. Emas pula berbeza. Ia sangat efektif dalam memantulkan radiasi inframerah berpanjang dan sederhana.
Dengan menambah lapisan emas yang tipis dan berkualiti tinggi pada permukaan reflektor, kita dapat memastikan foton-foton tersebut dipantulkan kembali ke arah silikon. Dengan cara ini, kita tidak perlu lagi meramalkan sama ada haba tersebut sampai ke wafer atau tidak.
Kekurangan penggunaan emas
Namun, ada kelemahan juga. Apabila tenaga dipusatkan dengan ketat seperti ini, suhu akan menjadi sangat tinggi. Ini bagus, tetapi ia juga bermakna margin kesilapan menjadi lebih kecil. Jika penyusunan lampu tidak tepat walaupun hanya beberapa milimeter, ia akan menyebabkan “titik panas” pada wafer.
Oleh kerana penghantaran tenaga yang dilakukan oleh emas jauh lebih baik berbanding baja keluli biasa, anda perlu memastikan pengawal suhu berfungsi dengan baik. Pengawal suhu perlu cukup cepat untuk menangani lonjakan suhu tersebut sebelum ia menjadi masalah.
Menjaga kualiti reflektor
Kami menciptakan reflektor ini agar boleh digunakan sebagai pengganti yang mudah. Anda tidak perlu membongkar seluruh sistem untuk melakukan peningkatan, sehingga masa henti operasi dapat dikurangkan.
Namun, perlu diingat bahawa emas agak sensitif. Ia tidak tahan terhadap kotoran kimia. Jika proses pengeluaran menggunakan gas korosif, reflektor tersebut perlu dilindungi. Jika tidak, emas akan rosak akibat oksidasi, dan keupayaan reflektornya akan menurun. Begitu juga jika reflektor terlalu panas—lapisan emas akan terkelupas atau terbakar, dan keseragaman suhu akan terganggu. Itulah sebabnya banyak wafer yang ditolak akibat masalah ini.
Pastikan reflektor tersebut sentiasa bersih dan disusun dengan betul. Fizik akan melakukan selebihnya untuk anda.