空気を加熱するのをやめよう：なぜIRがスマートファブの鍵となるのか
インダストリー4.0に向けてスマートファブを構築しようとしているなら、従来の加熱方法では不十分だと気づいているはずです。従来の対流式加熱法は遅く、非効率的です。ほとんどの場合、部品自体を加熱する代わりに、部品の周りの空気を加熱するだけで、エネルギーが無駄になってしまいます。
そのため、私たちは高効率な赤外線（IR）システムを利用します。これにより、ウェハーや基板に直接熱を与えることができます。仲介者もいないし、エネルギーの無駄もありません。
実際にデータを返信するハードウェア
デジタル化というのは聞こえは良いですが、実際には、測定可能なハードウェアがあるということです。IRシステムは非常に反応が迅速です。PLCや閉ループPIDコントローラーと接続すれば、温度調整がほぼ瞬時に行われます。これにより、生産ラインを正確に管理できます。各ウェハーにどれだけのエネルギーが投入されているかを明確に把握できます。歩留まりを重視するなら、これは非常に重要なデータです。
小さなサイズで大きな熱量
面白いのは、IRヒーターはごく小さなスペースに大量のエネルギーを込めることができるという点です。つまり、加熱装置のサイズを縮小し、床面積を節約できるのです。
ただし、注意点もあります。熱が集中するため、チャッシスや冷却装置には細心の注意が必要です。冷却が不十分だと、「ヒートソーク」という問題が発生します。そうなると、近くにあるセンサーや電子部品が壊れてしまいます。冷却装置の仕様を正しく設定しなければ、部品の交換が頻繁に必要になってしまいます。
300mmウェハーラインにおける最適な選択肢
私たちはIRを好みます。なぜなら、デジタルセンサーと相性が良いからです。ピロメーターを使って、リアルタイムのデータをIRアレイに送信できるのです。これにより、抵抗型ヒーターでよく見られる遅延が解消されます。全体的に、処理速度が速くなり、サイクルタイムも短縮されます。300mmウェハーラインを最適化しようとするエンジニアにとって、IRへの切り替えは、エネルギーコストを抑えつつ生産性を高めるための賢明な方法です。