Trên khu vực xử lý bằng công nghệ in chế bản, bạn biết đấy, mọi thứ diễn ra rất nhạy cảm. Chỉ cần có sự sai lệch 0,5 độ trong quá trình gia nhiệt, kích thước của các chi tiết được tạo ra sẽ thay đổi theo từng nanomet. Đường kẻ trên bề mặt wafer cũng sẽ dần xa khỏi vị trí mong muốn. Chúng tôi đã thiết kế loại đèn sưởi bán dẫn có khả năng điều chỉnh cường độ ánh sáng, nhằm duy trì nhiệt độ ở mức cần thiết – ổn định, có thể lặp lại được và dễ kiểm soát.
Điều quan trọng nhất là gì? Đèn này sử dụng bộ phát tia hồng ngoại tần số cao để làm nóng wafer nhanh chóng, đồng thời giữ cho nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Việc điều chỉnh cường độ ánh sáng diễn ra một cách trực tiếp và tuân theo quy luật tuyến tính, giúp bạn điều chỉnh nhiệt độ của lớp phủ mà không làm thay đổi nhiệt độ tổng thể của wafer. Thiết kế này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100; không có sự tạo ra các hạt bụi trong khu vực được gia nhiệt, và giao diện quartz/ceramic được thiết kế sao cho có thể chịu được việc làm sạch bằng dung môi mà không bị ảnh hưởng. Trong thực tế, quá trình gia nhiệt diễn ra rất nhanh, và thời gian xử lý vẫn đủ dài để phục vụ cho các công nghệ sản xuất hiện đại.
Điều quan trọng trong quá trình xử lý lớp phủ là tính lặp lại của quá trình. Đèn sưởi có khả năng điều chỉnh cường độ ánh sáng giúp duy trì độ ổn định của quá trình gia nhiệt từ lô này sang lô khác, từ đó giảm thiểu sự biến đổi kích thước các chi tiết được tạo ra. Thời gian ổn định nhiệt độ cũng được rút ngắn, giúp giảm thời gian xử lý mà không ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Thiết kế này cũng giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng, vì đèn chỉ sử dụng lượng năng lượng cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn. Tuổi thọ của bộ phát tia hồng ngoại cũng cao, giúp kéo dài thời gian sử dụng thiết bị. Trên dây chuyền đóng gói, việc kiểm soát nhiệt độ chính xác giúp đảm bảo chất lượng lớp keo ép, giảm thiểu số lượng lỗ rỗ trên bề mặt wafer – vì nhiệt độ giờ đây không còn là yếu tố ngẫu nhiên nữa.
Một vài lưu ý trước khi bắt đầu sử dụng thiết bị: Hãy đảm bảo rằng giao diện kết nối phù hợp, và kiểm tra thông số của nguồn điện cung cấp; đèn rất nhạy cảm với nhiễu điện áp, điều này có thể gây ra sự biến động về nhiệt độ. Hãy để đèn hoạt động trong một thời gian ngắn để ổn định công suất phát ra, sau đó kiểm tra lại vị trí của bộ phản xạ ánh sáng để đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ. Hãy lập kế hoạch về mức nhiệt độ phù hợp với loại vật liệu được sử dụng – các wafer dày và các lớp vật liệu có độ dẫn nhiệt thấp sẽ có phản ứng khác nhau, vì vậy hãy sử dụng wafer đo lường để calibrate trước.