
Wafere bulaşmayı önleme: Yıkama bölgelerindeki IR lambaları nasıl kullanmalıyız?
Dürüst olalım: Wafere işlemlerinin yıkama ve kurutma aşaması oldukça riskli bir süreçtir. Yüksek güçlü kızılötesi lambalar, su püskürtme sistemleri ve kimyasalların hemen yanında bulunur. Bu durum felaketlere yol açabilir. Eğer bu ortamda bir lamba patlarsa, sadece bozuk bir lamba ile uğraşmış olmazsınız; aynı zamanda parçaların wafere düşmesiyle üretimde ciddi kayıplar yaşanır.
Termal şok sorunu
Standart kuvars tüpler, ne ısıya ne de soğuğa dayanamaz. 600°C’de çalışan bir tüpe soğuk su damlası düştüğünde, cam anında o bölgede küçülür. İşte bu da stres kırıklarına neden olur.
Bunu önlemek için güçlendirilmiş kuvars camları ve su geçirmez kaplamalar kullanıyoruz. Bu kaplamalar, sıvıların ısıtıcı elemanlara ulaşmasını engellerken, aynı zamanda kızılötesi ışığın wafere ulaşmasına izin verir.
Parçaların wafere ulaşmasını engelleme
Wafenin herhangi bir şekilde zarar görmemesi için çift katmanlı bir koruma sistemi kullanıyoruz. Lamba, kimyasallara karşı dayanıklı olan kapalı bir kılıfın içinde yer alır. Bu sistem bir nevi sigorta görevi görür; eğer filament arızalanırsa veya iç tüp kırılırsa, dış kılıf her şeyi engeller. Ayrıca, uç kapaklarda da sağlam contalar kullanıyoruz. Eğer nem elektrik bağlantılarına sızarsa, kısa devreler ve lambaların yanması gibi sorunlar ortaya çıkabilir. Contalar bunu engeller.
Kurulum sırasında dikkat edilmesi gerekenler
Su geçirmez bir kılıf kullanmak işleri biraz değiştirir. Daha fazla malzeme olduğu için ısı, çıplak tüple kıyasla daha yavaş ulaşır. Bu durumu göz önünde bulundurarak ayarlamalar yapmanız gerekebilir. Ayrıca soğutma fanlarını da kontrol etmelisiniz; uzun süreli yüksek yoğunluklu üretim sırasında kutunun serin kalmasını sağlamalısınız.
Bu parçaları mevcut raflarınıza yerleştirmek oldukça basittir. Tek bir tavsiye: Contaların sıkıca oturduundan emin olun. Küçük bir boşluk bile nemin içeri sızmasına yetebilir.