산업용 반도체 제조용 히터 교체

라인상에서 0.5°C의 소프트 베이크 편차는 ‘작은 오차’가 아니다. 이는 전량 폐기 대상이다. 포토레지스트 공정에서 열적 불안정성은 어떤 여지도 허용되지 않는다. 팹 히터를 교체할 때는 측정 가능한 제어가 필요하며, 마케팅용 구성이 아니다. 실제로 중요한 점은 다음...