왜 모든 램프를 검사하는가? (그리고 왜 여러분도 이 점을 신경 써야 하는가?)
웨이퍼 제조 공장에서는 아주 작은 전기 누설만으로도 전체 실리콘 제품군이 폐기되거나 전체 시스템이 작동하지 않게 될 수 있습니다. 이는 누구도 원하지 않는 악몽과 같은 상황입니다.
그래서 우리는 “배치별 표본 검사”를 하지 않습니다. 10개 중 1개만 검사해서 결과가 좋기를 바라는 것은 위험한 방식입니다. 스프레드시트상으로는 1%의 실패율이 낮아 보일 수 있지만, 고전압을 사용하는 산업용 히터의 경우 1%는 너무 높은 수치입니다.
우리는 공장을 떠나는 모든 램프와 가열 요소를 반드시 검사합니다. 예외는 없습니다.
약점 찾기
고출력 램프들은 엄청난 열에 노출됩니다. 시간이 지나면 세라믹 절연체나 석영에 미세한 균열이 생길 수 있습니다. 이러한 문제를 발견하기 위해 우리는 고전압 AC/DC 스트레스 테스트를 진행합니다. 일반적인 작동 전압보다 훨씬 높은 전압을 가하여 테스트를 합니다. 왜냐하면, 장비 내부에서 문제가 발생하는 것보다는 공장 내에서 문제를 미리 발견하는 것이 낫기 때문입니다. 이것이야말로 전기가 필라멘트 안에만 머물도록 하는 유일한 방법입니다.
“유령 전류” 찾기
우리는 누설 전류를 매우 중요하게 여깁니다. 회로에서 빠져나가는 전류의 양을 정확하게 측정합니다. 만약 전류가 급격히 증가한다면, 그 제품은 즉시 폐기됩니다. 이는 과도해 보일 수 있지만, 이러한 “유령 전류”는 웨이퍼 위치 센서에 오작동을 일으킬 수 있습니다. 센서가 오작동하면 정밀도가 떨어집니다.
여러분이 해야 할 일
문제는, 우리의 테스트를 통해 램프가 완벽한 상태임을 확인할 수 있지만, 설치 과정에서 무슨 일이 일어날지는 우리가 통제할 수 없다는 것입니다. 만약 기술자가 전선을 손상시키거나 마운팅 브래킷을 너무 세게 조이면 절연체에 균열이 생길 수 있습니다. 이런 일은 항상 발생할 수 있습니다. 안전을 위해, 연결된 와이어가 램프와 동일한 전압을 견딜 수 있는지 반드시 확인해야 합니다.
도움을 드리기 위해, 우리는 각 제품의 일련번호에 대한 테스트 보고서를 제공합니다. 이 보고서는 기준값으로 활용될 수 있습니다. 정기적인 점검을 통해 절연 저항값을 확인할 수 있습니다. 그 값이 낮아지기 시작하면, 램프가 고장 나기 전에 교체해야 합니다. 그렇지 않으면 전원 공급도 중단될 수 있습니다.