फैब में थर्मल डेटा को सही तरीके से प्राप्त करना
यदि आप “स्मार्ट फैब” बनाने की कोशिश कर रहे हैं, तो आपको यह समझना आवश्यक है कि केवल उन्नत सॉफ्टवेयर ही पर्याप्त नहीं है। आप सिर्फ एक डैशबोर्ड खरीदकर काम खत्म नहीं कर सकते। आपको ऐसा हार्डवेयर चाहिए जो वास्तव में आपके डेटा से संवाद कर सके।
जब सेमीकंडक्टरों को गर्म करने की बात आती है, तो वास्तविक समस्या तो हीटर ही नहीं होता; बल्कि फीडबैक लूप ही समस्या है। इसी कारण हम उच्च-दक्षता वाली इन्फ्रारेड प्रणालियों का उपयोग करते हैं – क्योंकि ये प्रणालियाँ डिजिटल उत्पादन प्रक्रिया के साथ तेज़ी से काम कर सकती हैं।
थर्मल फीडबैक संबंधी समस्याएँ
वेफर को समान तापमान पर रखना एक चुनौतीपूर्ण कार्य है। हम इस कार्य हेतु विशेष थर्मोकपलों का उपयोग करते हैं।
लेकिन बस तापमान को मापना ही पर्याप्त नहीं है। हमें मिलीसेकंडों में ही डेटा प्राप्त होना आवश्यक है। यदि सेंसर धीर रहता है, तो PID लूप अतिरिक्त ऊर्जा उत्पन्न कर देता है। इससे सिलिकॉन पर थर्मल स्ट्रेस पड़ता है, और परिणामस्वरूप सामग्री बर्बाद हो जाती है। हम ऐसे सेंसर बनाते हैं जो उच्च तापमान में भी सही डेटा प्रदान कर सकें।
डेटा को वास्तव में उपयोगी बनाना
हमारा लक्ष्य अपनी उत्पादन प्रक्रिया का डिजिटल चित्र प्राप्त करना है। हम इन थर्मोकपलों को डेटा-आधारित सिस्टम में जोड़ते हैं, ताकि हम वास्तविक समय में थर्मल डेटा देख सकें।
अब आपको एनालॉग गेजों को देखने की आवश्यकता नहीं है। सब कुछ डिजिटल सिग्नल के रूप में ही प्राप्त होता है, जो सीधे PLC में जाता है। इससे आपको सब्सट्रेट पर ऊष्मा कैसे फैल रही है, इसका स्पष्ट चित्र मिल जाता है।
लाभ एवं नुकसान
उच्च-गति वाले डेटा के साथ कुछ नुकसान भी हैं।
जितने अधिक संवेदनशील थर्मोकपल होंगे, उतना ही वे IR पावर सप्लाई से आने वाले विद्युत शोर से प्रभावित होंगे। यदि आप शील्डेड केबलिंग का उपयोग नहीं करते, तो EMI आपके सिग्नल में घुस जाता है।
और जानिए क्या? ऐसी स्थिति में आपका “स्मार्ट” डेटा तो बेकार ही हो जाता है।
हमने ऐसी प्रणालियाँ ऐसी ही डिज़ाइन की हैं कि उन्हें आसानी से उपयोग में लाया जा सके। आपको अपने हीटर असेंबली को हटाने की आवश्यकता ही नहीं है। बस गर्म क्षेत्र से सर्वर तक स्वच्छ एवं विश्वसनीय डेटा प्राप्त करना ही काफी है। बहुत ही सरल है।