Obtenir des données thermiques fiables dans l’usine de fabrication
Si vous cherchez à créer une « usine intelligente », vous avez probablement réalisé que du simple logiciel sophistiqué ne suffit pas. Vous ne pouvez pas simplement acheter un panneau de contrôle et vous en contenter. Il vous faut du matériel capable de communiquer réellement avec vos données.
En ce qui concerne le chauffage des semi-conducteurs, le vrai problème n’est généralement pas le chauffage lui-même. C’est plutôt le système de rétroaction. C’est pourquoi nous utilisons des systèmes infrarouges à haute efficacité : ils réagissent suffisamment rapidement pour suivre le rythme d’une ligne de production numérisée.
Les défis liés à la rétroaction thermique
Il s’agit de maintenir une température uniforme sur la wafer. Nous utilisons des thermocouples spéciaux associés à des chauffages infrarouges pour y parvenir.
Mais voilà le problème : une simple mesure de température ne suffit pas. Il nous faut une latence minimale. Si votre capteur est lent, le circuit PID ne fonctionne plus correctement. Ensuite, il y a des contraintes thermiques sur le silicium, ce qui entraîne une perte de matière. Nous concevons donc nos capteurs pour qu’ils puissent résister à la chaleur intense des ondes infrarouges sans défaillir.
Faire en sorte que les données soient utiles
L’objectif est d’avoir une représentation numérique précise du processus de chauffage. Nous connectons ces thermocouples à un système basé sur des données numériques, afin que vous puissiez voir en temps réel les profils thermiques.
Plus besoin de regarder des instruments analogiques. Tout devient un signal numérique qui est envoyé directement au PLC. Cela vous permet d’avoir une vision claire de la manière dont la chaleur se répartit sur le substrat.
Les compromis et les pièges
Une transmission de données rapide présente aussi ses défis. Plus un thermocouple est sensible, plus il est sensible aux perturbations électriques provenant des alimentations infrarouges. C’est problématique. Si vous ne utilisez pas de câbles blindés et que vous ne mettez pas correctement en place le système de mise à la terre, les interférences électromagnétiques contamineront le signal. Et devinez quoi ? Vos données « intelligentes » deviendront alors simplement du bruit aléatoire.
Nous avons conçu ces systèmes pour qu’ils puissent être utilisés en remplacement direct des anciens systèmes. Vous n’avez pas besoin de remplacer tout le système de chauffage pour obtenir des données numériques. Il suffit de recevoir des données fiables depuis la zone chaude jusqu’au serveur. C’est aussi simple que ça.