تعویض هیتر کارخانه صنعتی
در خط تولید، انحراف 0.5°C در فرایند soft bake یک «خطای کوچک» نیست. این به معنی کنار گذاشتن یک دسته محصول است. در فرایند پوشش فتو رزین، ناپایداری...
تعویض لامپ RTP متسون
در خط تولید، تغییر تدریجی پروفایل لامپ هشدار نمیدهد. این تغییر به صورت یک نقطه داغ ۰.۳°C در سراسر ویفر، تغییرات آهسته در ابعاد بحرانی و پخش نامنظم...